薄膜分析方法

薄膜应力分析仪的运行原理基于薄膜材料表面的形变及薄膜与底部固体表面的应力变化当薄膜材料被施加于基底上时，由于基底与薄膜的晶格匹配差异等缘故，会产生应力和形变这使得薄膜在基底上产生应变，从而引起形变通过精确测量这些形变，可以间接评估薄膜的应力状态该仪器通常包含光源反射镜光电探测器。

1弯曲刚度薄膜材料的弯曲刚度决定了薄膜的抗弯能力当外力作用于薄膜时，薄膜会发生弯曲，如果弯曲角度超过了材料的弯曲极限，则会出现凸起或凹陷的现象2薄膜形状薄膜的形状对其受力分析也有很大影响例如，当薄膜边缘固定时，膜表面会因为张力作用而出现凸起的现象如果薄膜的形状为球形或圆形。